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納米壓痕技術(shù)（Nano-Indentation）是一種新的材料特性測(cè)量方法，用于研究微納零部件的力學(xué)性能和材料微納區(qū)域內(nèi)的局部特性，具有可直接測(cè)量和高空間分辨率的優(yōu)點(diǎn)，并且可以作為分析材料微納力學(xué)性能分布的手段之一。該技術(shù)可用于有機(jī)或無(wú)機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測(cè)分析，包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機(jī)材料等。

納米壓痕的三微形貌掃描有著重要的意義，KC的高分辨率及卓越材質(zhì)適應(yīng)性，可形象直觀的研究樣品的失效模式，如粘附、開(kāi)裂、堆積等。