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精密加工是指加工精度為10~0.微米、表面粗格度在0.1微米以下的加工，常用的加工方法有金剛石車削、金剛石、磨、研磨、砂帶磨自和鏡面容削等，精密加工在制造業(yè)中處于十分重要的地位，常用于精密絲杠、精密齒輪、精密蝸輪、精密導(dǎo)軌和精密軸承等關(guān)鍵零件的加工。

如圖所示為藍(lán)寶石圓片通過(guò)精密加工工藝制作出的錐形孔，通過(guò)KS系列3D數(shù)碼顯微鏡進(jìn)行深度合成拍攝，可對(duì)其上下表面的孔徑以及孔深進(jìn)行檢測(cè)。