產(chǎn)品詳情:
SSC-RGA6500小分子在線質(zhì)譜儀的主要應(yīng)用方向,半導(dǎo)體工業(yè)、真空鍍膜(PVD、CVD)、刻蝕、粒子加速器;CO2還原,程序升溫脫附、化學(xué)化工、儲(chǔ)能材料、硝酸根還原、燃料電池尾氣檢測(cè)、電-光-熱催化、汽車尾氣分析、電催化合成氨、熱分析、固定床、電解水析氫/析氧、扣電-軟包等電池產(chǎn)氣、光催化水制氫燃料電池研究、發(fā)酵微生物呼吸氣體監(jiān)控、人呼吸監(jiān)控、環(huán)境氣體分析、地質(zhì)分析、冶金過程、各種催化過程等等。
在線氣體質(zhì)譜儀與TGA實(shí)現(xiàn)聯(lián)用,能夠快速地分析熱重測(cè)試過程中逸出氣體產(chǎn)物;在線質(zhì)譜儀可與各種催化劑評(píng)價(jià)裝置,反應(yīng)釜,氣相色譜等連用,在線實(shí)時(shí)檢測(cè)過程中的氣體組成及其含量;在線質(zhì)譜儀可以與化學(xué)吸附儀連用,對(duì)程序升溫過程中的逸出氣體進(jìn)行定性和定量分析。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
1. 進(jìn)樣管加熱,可達(dá)350℃
2. 易操作界面,10英寸彩色觸摸屏,可全面控制儀器運(yùn)行、采樣分析、顯示譜圖
3. 可烘烤真空室至180℃
4. 可定制版本,如特殊進(jìn)氣系統(tǒng)、特殊外殼
5. 質(zhì)量范圍標(biāo)配1-200amu;可選1-100amu、、1-300amu
6. 軟電離選項(xiàng)(1-100eV)
7. 耗氣量低(1-2sccm)
8. 響應(yīng)快(駐留時(shí)間最短1ms/amu)
典型應(yīng)用:
組分分析
通過質(zhì)量數(shù)判斷進(jìn)樣氣體組分,得到真空系統(tǒng)中的工業(yè)氣體的成分和相對(duì)濃度信息,分析真空系統(tǒng)的密封性、脫附行為等,便于用戶判斷真空室及真空組件的狀態(tài),如下圖中質(zhì)譜圖所示

過程檢測(cè)/檢漏
在設(shè)置的質(zhì)量數(shù)范圍進(jìn)行全掃描或選擇掃描,長時(shí)間對(duì)某幾類氣體進(jìn)行監(jiān)控(含報(bào)警功能)以觀察真空腔體內(nèi)氣體組分濃度隨時(shí)間的變化,如下圖中時(shí)間趨勢(shì)圖所示

技術(shù)參數(shù)及配置:
運(yùn)行環(huán)境
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環(huán)境溫度
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15-35℃
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相對(duì)濕度
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≤85%
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適用電源
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220V(±10%),50Hz(±2%)
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主要性能指標(biāo)
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★質(zhì)量范圍
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1-200 amu
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進(jìn)樣管
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石英毛細(xì)管/不銹鋼毛細(xì)管
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★毛細(xì)管溫度
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≥350℃
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腔體加熱溫度
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≥200℃
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進(jìn)樣管入口壓力
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0.5-2.5atm
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進(jìn)樣管長度
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1m/2m
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靈敏度
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2.5E-4A/Pa
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最小可檢測(cè)分壓
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1.25E-10Pa
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質(zhì)量準(zhǔn)確性
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±0.10 amu
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▲儀器最小檢測(cè)限
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≤100ppb
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檢測(cè)范圍
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100ppb-100%
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▲駐留時(shí)間
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1ms – 16s/amu
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▲分辨率@10%峰值高度
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0.5-2amu可調(diào)
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掃描方式
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全掃描、選擇離子監(jiān)測(cè)
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整機(jī)尺寸(長×寬×高)
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655×358×318 mm
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▲重量
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29.3kg
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接口
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以太網(wǎng)LAN×1、USB×1
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離子源
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離子源類型
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開放式離子源
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離子源配置
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雙燈絲軟件切換
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燈絲電流
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1000μA
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離子化能量
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1-100eV
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燈籠電壓
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1-140V
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質(zhì)量分析器
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★質(zhì)量分析器
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配備預(yù)四極的高精度全金屬雙曲面四極桿
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四極桿尺寸
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98.5*24.6*6 mm
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檢測(cè)器
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法拉第杯和電子倍增器,對(duì)低濃度物質(zhì)使用法拉第杯檢測(cè)器,高濃度使用電子倍增器測(cè)定
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真空系統(tǒng)
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前級(jí)泵
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無油隔膜泵,抽速≥0.6 m³/h
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▲配置高性能渦輪分子泵,抽速≥67L/s
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軟件工作站
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★質(zhì)譜儀全中文一體化控制軟件工作站
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實(shí)時(shí)監(jiān)控
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可設(shè)置監(jiān)測(cè)離子物質(zhì),設(shè)置監(jiān)測(cè)強(qiáng)度閾值,超過一定分壓即實(shí)時(shí)查看到超標(biāo)物質(zhì)并打開蜂鳴器
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對(duì)質(zhì)譜圖中不同質(zhì)量數(shù)進(jìn)行元素定性功能
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化合物定量MCD采集功能
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通過加載已知組分含量的標(biāo)準(zhǔn)氣體,再新的樣品后可以得到對(duì)應(yīng)化合物濃度
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售后服務(wù):
1. 安裝、校準(zhǔn)與試運(yùn)行:儀器制造廠授權(quán)技術(shù)員在買方用戶現(xiàn)場(chǎng)免費(fèi)安裝調(diào)試,技術(shù)指標(biāo)合格。
2. 培訓(xùn):提供技術(shù)服務(wù),現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn)內(nèi)容(包括儀器基本原理、操作使用及日常保養(yǎng)維修等),培訓(xùn)工作直至技術(shù)人員能獨(dú)立操作為止。
3. 質(zhì)保與維修:儀器廠商提供1年的免費(fèi)保修服務(wù)。
4. 技術(shù)資料:提供儀器設(shè)備的安裝、操作手冊(cè)、維修保養(yǎng)手冊(cè)等技術(shù)文件,及產(chǎn)品合格證、質(zhì)量保證書和產(chǎn)品軟件等全套資料。
實(shí)物圖:
譜儀.png)